碳化硅研磨深加工

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碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状刘桂玲,等碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状由研磨和传统机械抛光法对口径的反应烧两者一性磨削模式进行,当单位磨削深度超过临界磨削深
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