回收碳化硅加工
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从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法_。碳化硅的制备方法。特别涉及硅片线切割加工废砂浆的资源化回收利用。其特征在于包括如下步骤:步、碳化硅微粉与含硅粉的切割液分离操作单元,步、切割液回收操作。
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