多晶硅石墨底座处理

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还原炉中石墨底座的问题-石墨底座的氯离子在煅烧过程中应该基本挥发了应该不会影响硅芯,但是不能挥发的一些金属灰分倒是有可能影响终产品的纯度,所以一般都要求采用经过纯化处理的高纯石墨。

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